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AFM-T教学型原子力显微镜采用小型化及可拆卸化设计,方便携带及教学, 激光检测头和样品扫描台集成一体,稳定可靠;精密激光及探针定位装置,更换探针及调节光斑简单方便;
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AFM-O光学原子力显微镜一体机采用光学显微镜和原子力显微镜一体式设计,光电控制一体化;同时具备光学和原子力显微镜成像功能,两者可同时扫描成像,互不影响;同时具备光学二维测量和原子力显微镜三维测量功能;
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AFM-IN工业型原子力显微镜系国内首先实现样品保持不动,探针移动扫描的原子力显微镜,采用闭环三轴独立压电平移式扫描器,大范围高精确度扫描,适合样品尺寸、重量基本不受限制,特别适合集成电路晶圆等超大样品检测。
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