浅析扫描探针显微技术

扫描探针显微技术（ Scanning Probe Microscopy ： SPM ）

扫描式探针显微镜（ scanning probe microscope, SPM ）是一种新进且发展快速的显影技术，是在探针与样品表面仅距离数纳米的状况下，利用探针与样品表面间各种不同型式的交互作用，诸如凡得瓦力、静电力、静磁力、表面阻力等来进行成像，自从 1982 年发展以来至今已经衍生了许多不同的应用，因而发展出原子力显微镜 (Atomic Force Microscope ， AFM) ，静电力显微镜 (Electric Force Microscope, EFM) ，磁力显微镜 (Magnetic Force Microscope, MFM) 、侧向力显微镜 (Later Force Microscope, LFM) 等。而其运用的范围已扩及表面物理、固态物理、生物物理、生命科学、材料科学、纳米科学等学术研究，以及纳米量测、半导体检测、超精密加工、生物按术与纳米技术等工程研究与实际运用。而且这些应用技术更是发展纳米科技不可缺少的辅助工具。 原子力显微镜 (Atomic Force Microscopic) 。其本身具有多项功能由于一般原子力显微镜的影像解析度可达到 1.0 nm 左右，在医学、生物、材料、机械、半导体、光电、电子、化工、土木、环工、物理等领域已是非常普遍的分析工具，原子力显微镜由于对于研究物体之表面结构功效特别显著，例如材料之断口、磨损面、涂层结构、夹杂物等之观察研究。

关键字 ：扫描式探针显微镜（ scanning probe microscope, SPM ）、纳米技术 (Nanotechnology)